ボルトマーキングルール

①定義
・ボルト締付けを確実に実施したことを作業者が確認するため(作業ミス防止)。
・組立完了時、視覚的に作業漏れを確認出来るようにし、締め忘れによる不具合発生を防止する。
・お客様先セットアップ時、緩みの発生があったかどうかを確認するために実施。
・部品取り外し、再組立作業があった場合にも締付け忘れによる不具合発生を防止。
・メカ図面(組立図面)に記載されているボルトはこのルールに従って施工すること。
 (電気図面に記載されている物は電装基準に従うこと。)
・ケーブルを固定するボルトは電装基準に従うこと。
 (危険電圧部のボルト接続は電装基準に従うこと。)

②使用するペン
マーキングに使用するペンは以下のペンを使用すること
■ペンテルペン(型式)ENMS50

③基本的なマーキング基準(INTEL機はCE施工に従い、トラスビスや樹脂ボルトにはマーキングしない。)
・マーキングはボルト頭から締結物(固定する部品)まで行う。
締結物側のマーキングは1mm以上、3mm以下とする。(写真2参照)

・SUSボルトにはロックタイト塗布(ネジの緩み止め剤)に関わらず全て黒マーキング実施すること(トラスビスや皿ビスも含む)。(写真1参照)
・樹脂ボルトにも黒マーキングを行うこと。(写真1参照)
・プロセス(半導体の洗浄工程)に影響する箇所(チャンバー処理内等、液体が直接部品にかかる所)に使用されている樹脂ボルトやSUSボルトはボルトマーキングしない。
・メンテナンスで外す箇所に使用されている樹脂ボルトやSUSボルトはボルトマーキングしない。
・装置外装面(外観美に影響する箇所)に使用するボルトにはボルトマーキングはしない。(写真3参照)
・ボルトとナットにて締結する場合、ボルト側、ナット側それぞれにマーキングを実施すること。(写真4参照)
・スタッドボルト(六角の棒状で両端にねじ山かネジが切られている)固定時にも同様にマーキングを実施する。(写真5参照)

<マーキングの例>

写真1
写真1
写真2
写真3
写真4
写真5

同じ箇所のマーキングは同方向からマーキングし、美観にも注意すること。(写真6、7参照)
写真7の様に内側にする必要はありません。締結物までマーキングが出来ればマーキングを引きやすい外側でも問題ありません。

写真6
写真7

配管施工前提ルール

機械装置における配管施工とは
機械装置に必要な液体や気体の流れを確保するために行われる、配管の設置・接続・取り付けなどの作業を指します。具体的には、配管ルートの決定、配管材料の選定、配管の切断・加工、配管の曲げ・接合、配管の支持・固定、配管の検査・試運転などが含まれます。配管施工は、機械装置の機能や性能に大きな影響を与えるため、高い技術力が求められます。また、施工の際には、配管の安全性や耐久性を確保するための設計や品質管理が必要となります。

結束方法について
①配管を結束バンドで纏める場合は、基本的に液体配管(液体が流れる配管)と気体配管(気体が流れる配管)に分別する。

②配管の結束は、通常は白色結束バンドを用い、耐薬品性の必要がある箇所には耐薬用の青色結束バンドを用いる。

白色インシュロック

<用途>
薬液雰囲気(薬液処理(薬品が直接かかる)するエリアや薬液配管が通るエリア)
以外で使用する
※薬液雰囲気では使用してはいけない
材質:ナイロン66

青色インシュロック

<用途>
薬液雰囲気(薬液処理するエリアや薬液配管が通るエリア)で使用する
※薬液雰囲気以外では使用しない
材質:テフゼル

③配管束を曲げる場合は、配管径の大きいものが外側になるようにして曲げる事を原則とする。

④結束の頭を指で押して結束バンドが回らない事、かつ配管の変形が無い事。

銘板貼り付けルール

各銘板の貼り付け要否と貼り付け位置について

以下に記述する貼り付け位置基準は基本ルールとなります。
基本ルールで貼り付けできない場合は上長に確認を取ってください。

機器番号ラベル(機器シール)
各機器の機器番号を表示するに使用される。
フローシート・セイギョタイショウヒョウに指示されている薬液処理部以外に設置された機器対して貼り付けを実施すること。

機器番号ラベル(機器シール)の貼り付け位置
1.機器に直接貼り付けは実施しないこと。※電磁弁は除く。
2.配管、配線の接続側から見て視認できる位置に貼り付けを行うこと
3.貼り付け場所の優先順位は下記に従うこと
4.赤矢印の方向に文字が読める向きに貼り付けること
5.縦向きに貼り付ける場合は緑矢印の方向に貼り付けること

機器説明/機器設定ラベル
・機器説明ラベル・・・機器の用途(何の制御を行うか)を説明するために使用される。
・機器設定ラベル・・・機器説明ラベルに加えて機器の設定値を指示するために使用される。

機器説明ラベル
機器設定ラベル

機器説明/機器設定ラベルの貼り付け位置
1.機器に直接貼り付けは実施しないこと。
2.外装カバーを取り付けた状態で視認できる位置に貼り付けを行うこと
3.貼り付け場所の優先順位は下記に従うこと
4.赤矢印の方向に文字が読める向きに貼り付けること

警告ラベル
お客様に対して装置の危険部位を注意・警告を促すために使用される。
図面(ケイコクラベルハリツケズ)に指示されているものに対して貼り付けを実施すること。

1.カバーへ貼り付けるラベルは図面(ケイコクラベルハリツケズ)に記載されている大まかな位置を元にして、下記基準に順ずること
2.インターロックラベルも同様
3.並べて貼り付ける場合はラベル同士の隙間を空けないこと

旗銘板(はためいばん)

「旗銘板」とは
装置本体及び各別置ユニット(べっちユニット:本体とは別の装置)での各々の気体及び液体の配管において、配管内の気体/流体(流れる物体)名称(種類)と流れ方向を識別するための表示銘板です。

「旗銘板」の種類と識別(色)

矢印:各流体の流れる方向を示すもの
配色:各流体の名称(種類)を示すもの

「旗銘板」の貼付の基本ルール

1)参照図面 : フローシート(装置の気体/液体がどのように流れるか示した図面)/配管図(配管の接続を示した図面)
2)貼付対象 : 流体配管/気体配管

「旗銘板」の貼付および取付方法

未使用のマーキングタイに指定の旗銘板を貼付する。

【注意点】
・マーキングタイへの旗銘板貼付の向きを「右図の正解」に統一すること
・台座からラベルのはみ出しはNG(見栄えの問題)
・極力空気が入らないよう、しっかり貼ること(時間が経つと剥がれる恐れ有り)
・旗銘板施工時にインシュロック頭の方向を合わせる為、下記『パターンA』で貼り付けすること。

気体配管接続表示施工ルール

「気体配管接続表示」とは、配管システムの中で、気体の流れを示すために使用されるシンボルや記号のことを指します。これらの表示は、配管システムの設計や保守、修理などにおいて重要な役割を果たします。正確で明瞭な気体配管接続表示がされていることで、安全性を確保し、効率的なメンテナンスを行うことができます。

表示方法
配管接続ラベルまたはマークチューブのどちらかを使用して表示する。

施工箇所
薬液処理部以外の気体配管の機器側全て。
薬液処理部以外のメンテナンス等で外す中継継手部分(配管と配管を継ぐ部品)。
薬液雰囲気部(MPCの場合は流体BOX、ベランダBOX)は必ず配管ラベルを使用すること。
(貼り方:印字部をチューブに貼り付け、透明シール部を矢印方向に巻きつけ印字部を保護すること)

施工手順

配管接続ラベル施工
接続される機器を上にして記載がわかるように(機器側から読めるように)機器から30mm以内に配管接続ラベルを貼り付ける。

φ4以下の配管へのマークチューブ施工
接続される機器を上にして記載がわかるように機器から30mm以内にマークチューブを通す。

φ6以上のチューブへのマークチューブ施工
φ4.5マークチューブに100mmのインシュロックを通して固定する。
接続されている機器を上にして記載がわかるように機器から30mm以内にマークチューブを結束バンドにて巻き付ける。

メンテナンス等で外す中継継手部の施工方法
継手から負荷側(圧力をかける側、気体が向かう先)の機器番号の記載が始まるように配管接続ラベルまたはマークチューブの施工を行う。

ロックタイト塗布方法

ロックタイトとは
LOCTITE®(ロックタイト)ねじゆるみ止め用接着剤(青)嫌気性接着剤(空気が遮断されると硬化する接着剤)で主に、ネジ(ボルト・ナット)を締める際に使い、締めて空気が遮断されることで硬化します。
簡単にいうとネジの緩み止めですが、締めて空気が遮断されるまでは固まらないので、作業がしやすいです。

ロックタイト(青)は取り外しを想定した設計です。組み立て時と同じ工具を使って組付け部を分解することができます。組付け部の強度を高めるものではありませんが、振動によるゆるみを防ぎます。

塗布量と塗布手順
①母材・ねじ側に油分や汚れがある場合は除去を行うこと
②ビス山の締結部から2~3山分360°面に塗布すること
③ビス先端に付着したロックタイトは拭き取っておくこと
④ビス締め付け後、周辺部にはみ出したロックタイトを拭き取ること

使用時の注意
1.塗布後30分以内に施工を完了すること(対象材質によるが早いもので30分程度で硬化が進む)
2.小分けする場合容器は参考写真のものを使用のこと(金属製は硬化するため不可)
3.一度出したものは容器に戻さないこと(不純物の混入を避けるため)
4.被着材の表面は油分/キリコ等をクリーンウエス等でふき取りきれいにすること。
5.硬化後取り外して再施工する場合、ネジ穴に残った硬化材を除去すること。
6.施工後あふれ出した液はクリーンウエスでふき取ること

六角穴付き止めネジの施工について
※止めネジはネジ径が小さく、挿入距離もネジ径に対して長い傾向があり、塗布量が少ないと効果が得られません。

ワンタッチスペーサー施工方法

ワンタッチスペーサーとは
タッチスペーサーは板金部品とプリント基板またはプリント基板とプリント基板をワンタッチで取り付けるスペーサーです。

施工手順(取り付け)
①基板取付用の板金の穴に下図のようにワンタッチスペーサーの押さえ部分が大きい方を挿入する。(写真-1)
突起部のカエリが完全に板金の外側に出るまで挿入すること。(写真①-2)

②基板を下図のようにワンタッチスペーサーの突起部のカエリが完全に出るまで挿入する。(写真②-1)

理解度テスト

理解度テストは回答後に点数を確認して100点が取れるまで行ってください。

理解度テストはこちら